電子無塵車間，潔凈廠房

半導體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。根據潔凈度不同分為100級（小于3.5個），1000級（小于35個），10000級（小于350個），100000級（小于3500個）。